대구한의대학교 향산도서관

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실리콘질화박막 성질을 위한 하향흐름 마이크로 웨이브 플라즈마의 특성 분석 / 김용태 김춘근 민석기 / 한국물리학회 / 응용 물리 / 1989 /
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