대구한의대학교 향산도서관

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원거리 플라즈마 ALD법으로 증착한 ZrN박막의 특성 연구: / 조승찬 황윤철 이근우 한세진 김인배 전형탁 김양도 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2005 /
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