대구한의대학교 향산도서관

선택목록저장

검색간략리스트

저널기사
0.1um급 dense 패턴 형성을 위한 사입사 조명 조건과 OPC 보조 패턴 크기의 최적 조건에 관한 연구 / 박정보 이재봉 이성묵 / 한국광학회 / 한국 광학 회지 / 2001 /
항목 :