대구한의대학교 향산도서관

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가스 크러스터 이온빔을 이용한 고체 표면 평탄화 및 식각에 대한 연구: / 송재훈 최덕균 최원국 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2003 /
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