대구한의대학교 향산도서관

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Fourier transform infrared spectroscopy를 이용한 SiNx 박막의 수소농도 연구: / 이석열 최재하 제지홍 이임수 안병철 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2008 /
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