대구한의대학교 향산도서관

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Low-angle forward reflected neutral beam etching을 이용한 Aspet-ratio-dependent etching 현상의 제거: / 민경석 박병재 염근영 김성진 이재구 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2006 /
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