대구한의대학교 향산도서관

선택목록저장

검색간략리스트

저널기사
MEMS 적용을 위한 thermal CVD 방법에 의한 증착한 SiC 막의 반응성 이온 Etching 특성 평가: / 최기용 최덕균 박지연 김태송 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2004 /
항목 :