대구한의대학교 향산도서관

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엑시머 레이저를 이용한 극히 얕은 접합과 소스, 드레인의 형성과 50nm 이하의 극미세 n-MOSFET의 제작 / 정은식 배지철 이용재 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2001 /
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