대구한의대학교 향산도서관

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NF₃/CH4 플라즈마를 이요한 실리콘 카바이드 식각공정의 신경망 모델링: / 김병환 이석룡 이병택 권광호 / 한국전기전자재료학회 / 학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회) / 2003 /
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