대구한의대학교 향산도서관

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차세대 반도체 FAB의 동적 구조 설계를 위한 PC형 격자보 구조물의 동적 특성 평가: / 전종균 김강부 손성완 이홍기 / 한국반도체및디스플레이장비학회 / 반도체 및 디스플레이장비 학회지 / 2005 /
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