대구한의대학교 향산도서관

선택목록저장

검색간략리스트

저널기사
Effect of Plasma-Induced Charaging in Interconnect Metal Etch onthe Characteristics of a Ferroelectric Capacitor / 박신현 조정주 조일현 / 한국물리학회 / Journal of the Korean Physical Society / 1999 /
항목 :