대구한의대학교 향산도서관

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식각 용기 가열에 의한 라디칼 손실 제어가 고선택비 산화막 식각에 미치는 영향 / 김정훈 이호준 주정훈 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 1996 /
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