대구한의대학교 향산도서관

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승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피택시에 관한 연구 / 최태희 남승의 김형준 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 1996 /
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