대구한의대학교 향산도서관

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TCP-CVD법을 활용한 공정변수에 따른 산화막의 제작: / 김창조 최윤 신백균 박구범 신현용 이봉주 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2010 /
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