대구한의대학교 향산도서관

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ICP Poly Etcher를 이용한 RP Power와 HBr Gas의 변화에 따른 Polysilicon의 건식식각 : / 남상훈 현재성 부진효 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2006 /
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