대구한의대학교 향산도서관

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RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 AIN 박막의 구조적 특성과 전기적 특성 / 김경석 황영한 김희대 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 1999 /
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