대구한의대학교 향산도서관

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극미세 전자소자 박막배선의 결함방지 및 신뢰도 향상을 위한 절연보호막 효과: / 양인철 김진영 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 1995 /
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