대구한의대학교 향산도서관

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전자 Swarm법에 의한 SiH4플리즈마의 저자이동속도 및 특성에너지 해석 / 이형윤 백승권 하성철 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 1999 /
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