대구한의대학교 향산도서관

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다층 리지스트 다층 기판 구조에서의 전자빔 리소그래피 공정을 위한 몬테카를로 시뮬레이터의 개발 / 손명식 이진구 황호정 / 대한전자공학회 / 종합학술대회논문집(대한전자공학회) / 2002 /
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