대구한의대학교 향산도서관

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Preparation of ZrO₂Dielectric Layers by Subsequent Oxidation after Zr Film Deposition with Negative Substrate Bias Voltage: / 배준우 임재원 김선중 Mimura,Kouji Miyazaki,Takamichi Uchikoshi,Masahito Isshiki,Minoru / The Korean Institute of Metals and Materials / Metals and Materials international / 2010 /
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