대구한의대학교 향산도서관

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Removal of Aspect-Ration-Dependent Etching by Low-Angle Forward Reflected Neutral- Beam Etching: / 이도행 박병재 염건영 김성진 이재구 배교현 강창진 / 한국물리학회 / Journal of the Korean Physical Society / 2005 /
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