대구한의대학교 향산도서관

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헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각 / 정석재 양호식 조성민 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 1998 /
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