대구한의대학교 향산도서관

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산화막 패턴 웨이퍼 위에 플라즈마 화학증착법을 이용한 균일한 TiSi₂ 박막형성에 관한 연구 / 권광호 박형호 이수민 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 1992 /
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