대구한의대학교 향산도서관

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정전형 차동형 MEMS 엑츄에이터의 주파수 응답 특성 해석: / 민동기 전종업 / 한국센서학회 센서기술연구소 / 종합학술대회 논문집(한국센서학회) / 2002 /
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