대구한의대학교 향산도서관

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Thin 실리콘 기판을 이용한 MEMS 소자의 패키징: / 박윤권 김용국 김훈 이윤희 김철주 주병권 / 한국센서학회 센서기술연구소 / 종합학술대회 논문집(한국센서학회) / 2002 /
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