대구한의대학교 향산도서관

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RF 스퍼터링을 이용한 AIN 박막의 증착특성에 관한 연구(367): / 이민건 장동훈 강성준 윤영섭 / 대한전자공학회 / 종합학술대회논문집(대한전자공학회) / 2003 /
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