대구한의대학교 향산도서관

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초정밀 스캐닝 스테이지를 위한 고분해능, 대변위의 MEMS 용량형 변위센서: / 김일환 김현철 전국진 / 대한전자공학회 / 종합학술대회논문집(대한전자공학회) / 2006 /
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