대구한의대학교 향산도서관

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고집적 DRAM Capacitor 루테늄 전극 증착을 위한 ALD 시스템 개발: / 송용원 이광동 이영민 / 한국산업기술대학교 / 논문집(한국산업기술대) / 2006 /
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