대구한의대학교 향산도서관

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검색어[키워드 / 전체:CMP]

총 3건 중 3건 출력

1/1 페이지

제한항목: 1996

검색간략리스트

Service Form

1.

서명: Optical Interferometry for Surface Measurements of CMP Pads:
저자: Stein, D.;Hetherington, D.;Dugger, M.;
출판사: Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호: Journal of Electronic Materials
출판년: 1996
자료유형: 저널기사
소장처

2.

서명: The Importance of Particle Size and the Performance of Abrasive Particles in the CMP Process:
저자: Pohl, M. C.;Griffiths, D. A.;
출판사: Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호: Journal of Electronic Materials
출판년: 1996
자료유형: 저널기사
소장처

3.

서명: Investigation of Pad Deformation and Conditioning During the CMP of Silicon Dioxide Films:
저자: Achuthan, K.;Curry, J.;Lacy, M.;
출판사: Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호: Journal of Electronic Materials
출판년: 1996
자료유형: 저널기사
소장처

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