대구한의대학교 향산도서관

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검색어[키워드 / 전체:CMP]

총 4건 중 4건 출력

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제한항목: 1998

검색간략리스트

Service Form

1.

서명: Post-cmp cleaning using acoustic streaming
저자: Busnaina, Ahmed A. ; Elsawy, T. M.
출판사: Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호: Journal of Electronic Materials
출판년: 1998
자료유형: 저널기사
소장처

2.

서명: In-process detection of microscratching during cmp using aco
저자: Tang, Jianshe ; Dornfeld, David ; Pangrle, Suzette keefe ; D
출판사: Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호: Journal of Electronic Materials
출판년: 1998
자료유형: 저널기사
소장처

3.

서명: Analysis of flow between a wafer and pad during cmp processe
저자: Rogers, C. ; Coppeta, J. ; Racz, L. ; Philipossion, A. ; Kau
출판사: Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호: Journal of Electronic Materials
출판년: 1998
자료유형: 저널기사
소장처

4.

서명: 패턴 피치크기 및 밀도에 따른 Cu CMP 공정의 AFM 분석에 관한 연구
저자: 김동일 채연식 윤관기
출판사: 대한전자공학회
청구기호: 전자공학회논문지 - D
출판년: 1998
자료유형: 저널기사
소장처

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