대구한의대학교 향산도서관

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검색어[키워드 / 전체:CMP]

총 8건 중 8건 출력

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제한항목: 1999

검색간략리스트

Service Form

1.

서명: CMP 공정에 사용되는 연마 소모자재 기술의 이해
저자: 정해도
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료
출판년: 1999
자료유형: 저널기사
소장처

2.

서명: POST-CMP CLEANING USING A SINGLE WAFER MEGASONIC CLEARNER
저자: 장성규
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료
출판년: 1999
자료유형: 저널기사
소장처

3.

서명: CMP연마에 의한 실리콘산화막의 표면특성
저자: 이현수 임성훈 김민기 한병성
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료 학회 논문지
출판년: 1999
자료유형: 저널기사
소장처

4.

서명: CMP 공정에 기인하는 소자특성의 열화를 방지하기 위한 PMD 구조에 대한 연구
저자: 서용진 김상용
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료 학회 논문지
출판년: 1999
자료유형: 저널기사
소장처

5.

서명: 피라미드-온압구 내 구치료가 메리디안 오장 CMP에 미치는 영향
저자: 장진요 황우준 홍유선
출판사: 대한한의학회 침구학회
청구기호: 大韓鍼灸學會誌
출판년: 1999
자료유형: 저널기사
소장처

6.

서명: CMP post cleaning 공정
저자: 박래학
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료
출판년: 1999
자료유형: 저널기사
소장처

7.

서명: 연마시간 관계식을 이용한 STI CMP의 특성에 관한 연구
저자: 김상용 김남훈
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료 학회 논문지
출판년: 1999
자료유형: 저널기사
소장처

8.

서명: Non-Contact Post-CMP Cleaning에대한 평가와 기존 Scrubber Cleaning과의 비교
저자: 이우선
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료
출판년: 1999
자료유형: 저널기사
소장처

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