대구한의대학교 향산도서관

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검색어[키워드 / 전체:CMP]

총 5건 중 5건 출력

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검색간략리스트

Service Form

1.

서명: CMP(Chemical Mechanical Polishing) characteristics of langasite single crystals for SAW filter applications
저자: 장민철 주경 여건호
출판사: International Organization for Ceramic Processing
청구기호: Journal of Ceramic Processing Research
출판년: 2000
자료유형: 저널기사
소장처

2.

서명: 슬러리와 패드변화에 따른 텅스텐 플러그 CMP 공정의 최적화
저자: 김상용 서용진 이우선
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료 학회 논문지
출판년: 2000
자료유형: 저널기사
소장처

3.

서명: 실리콘 웨이퍼위에 증착된 실리케이트 산화막의 CMP슬러리 오염 특성
저자: 김상용 서용진 이우선
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료 학회 논문지
출판년: 2000
자료유형: 저널기사
소장처

4.

서명: Post-CMP cleaning for metallic contaminant removal by using a remote plasma and UV/Ozone
저자: 임종민 전부용 이창무
출판사: 한국물리학회
청구기호: Journal of the Korean Physical Society
출판년: 2000
자료유형: 저널기사
소장처

5.

서명: 탈이온수의 압력과 정제된 N₂가스가 ILD-CMP 공정에 미치는 영향
저자: 김상용 이우선 서용진
출판사: 한국전기전자재료학회
청구기호: 전기 전자 재료 학회 논문지
출판년: 2000
자료유형: 저널기사
소장처

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