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1.
서명
Effects of Film Type and Nanotopography of Wafers on Oxide CMP Characteristics  미리보기
저자
TKatoh BGKo JHPark
출판사
한국물리학회
청구기호
Journal of the Korean Physical Society
출판년
2002
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
2.
서명
CMP 폐액으 고액분리에서 응집제의 영향에 관한 연구  미리보기
저자
홍성호 오석환
출판사
대한상하수도학회
청구기호
상하수도 학회지
출판년
2002
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
3.
서명
Object Persistence를 위한 EJB BMP와 CMP 기법의 비교 평가  미리보기
저자
정광선 김수동
출판사
한국정보과학회
청구기호
학술발표논문집(한국정보과학회)
출판년
2002
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
4.
서명
Cu CMP 에 의한 웨이퍼 불균일도 특성 개선:  미리보기
저자
이우선 이영식 손동민
출판사
조선대학교 에너지.자원 신기술연구소
청구기호
에너지 자원 신기술연구소 논문지(조선대)
출판년
2002
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
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