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1.
서명
금속 CMP 공정시 경질 다공성 패드의 적용:
저자
김상용 김남훈 김인표 장의구
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
2.
서명
CMP 실리카 슬러지 노화 현상에 대한 연구:
저자
이우선 최권우 고필주 서용진
출판사
조선대학교 에너지.자원 신기술연구소
청구기호
에너지 자원 신기술연구소 논문지(조선대)
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
3.
서명
열처리된 산화막 CMP 슬러리의 노화 현상:
저자
이우선 신재욱 최권우 고필주 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회)
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
4.
서명
구리 CMP슬러리중 산화제의 부식 특성:
저자
이도원 김인표 김남훈 김상용 김태형 장의구
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회)
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
5.
서명
첨가제에 따른 SiO₂CMP 특성:
저자
이우선 고필주 최권우 신재욱 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회)
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
6.
서명
구리 CMP 슬러리를 위한 산화제 H₂O₂의 안전성:
저자
이도원 김인표 김남훈 김상용 서용진 장의구
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회)
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
7.
서명
실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성:
저자
서용진 이경진 최운식 김상용 박진성 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
8.
서명
탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성:
저자
서용진 박창준 최운식 김상용 박진성 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
9.
서명
CMP 폐술러리내의 필터링된 연마 입자 재활용에 관한 연구:
저자
김기욱 서용진 박성우 정소영 김철복
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회)
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
10.
서명
스퍼터로 제작된 WO₃박막의 CMP 광역평탄화 특성:
저자
이우선 고필주 최권우 정수복 최창주
출판사
조선대학교 에너지.자원 신기술연구소
청구기호
에너지 자원 신기술연구소 논문지(조선대)
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
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