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1.
서명
금속 CMP 적용을 위한 산화제의 역할:  미리보기
저자
서용진 김상용 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
2.
서명
실리카 슬러리의 에이징 효과 및 산화막 CMP 특성:  미리보기
저자
이우선 고필주 이영식 서용진 홍광준
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
3.
서명
CMP 결과에 영향을 미치는 마찰 특성에 관한 연구:  미리보기
저자
박범영 이현섭 김형재 서현덕 김구연 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
4.
서명
CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향:  미리보기
저자
김구연 김형재 박범영 이현섭 박기현 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
5.
서명
가스센서 적용을 위한 SnO₂박막의 CMP 특성 연구:  미리보기
저자
이우선 최권우 김남훈 박진성 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
6.
서명
구리 CMP 적용을 위한 산성 콜로이드 실리카를 포함한 준무연마제 슬러리 연구:  미리보기
저자
김남훈 김상용 서용진 김태형 장의구
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
7.
서명
스퍼터로 제작된 WO₃ 박막의 CMP 광역평탄화 특성:  미리보기
저자
이우선 최창주 고필주 최권우
출판사
조선대학교 에너지.자원 신기술연구소
청구기호
에너지 자원 신기술연구소 논문지(조선대)
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
8.
서명
A study on the corrosion effects by addition of complexing agent in the copper CMP process:  미리보기
저자
김상용 김남훈 김인표 장의구 서용진 정훈상
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
Transactions on Electrical and Electronic Materials
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
9.
서명
한외여과를 이용한 폐 CMP slurry의 분리에서 압력의 영향:  미리보기
저자
홍성호
출판사
대한상하수도학회
청구기호
상하수도 학회지
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
10.
서명
텡스텐 슬러리를 사용한 Cu-CMP 특성에서 산화제 첨가의 영향:  미리보기
저자
이우선 최권우 이영식 최연옥 오용택 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
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