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1.
서명
CMP 패드 컨디셔닝 온도에 따른 산화막의 연마특성:
저자
최권우 김남훈 서용진 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
2.
서명
텅스텐 CMP에서 산화제 영향에 관한 연구:
저자
박범영 이현섭 박기현 정석훈 서헌덕 정해도 김호윤 김형재
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
3.
서명
산화제 첨가에 따른 WO₃ 박막의 CMP 편탄화 특성:
저자
이우선 고필주 김남훈 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
4.
서명
혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성 :
저자
나은영 서용진이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
5.
서명
구리 CMP 공정변수 최적화를 위한 실험계획법 연구:
저자
최민호 김남훈 김상용 장의구
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
6.
서명
산화막 CMP 공정에서 슬러리 온도 변화에 따른 연마 특성:
저자
고필주 박성우 기남훈 서용진 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
7.
서명
CMP에서의 스틱-슬립 마찰특성에 관한 연구:
저자
이현섭 박범영 서헌덕 박기현 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
8.
서명
H₂O₂산화제가 W/Ti 박막의 전기화학적 분극특성 및 CMP 성능에 미치는 영향:
저자
나은영 서용진 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
9.
서명
CMP 패드 강성에 따른 산화막 불균일성(WIWNU)에 관한 연구:
저자
박기현 정재우 박범영 서현덕 이현섭 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
10.
서명
Polishing Mechanism of TEOS-CMP with Hing-temperature Slurry by Surface Analysis:
저자
김남훈 서용진 고필주 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
Transactions on Electrical and Electronic Materials
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
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