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1.
서명
CMP 패드 컨디셔닝 온도에 따른 산화막의 연마특성:  미리보기
저자
최권우 김남훈 서용진 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
2.
서명
텅스텐 CMP에서 산화제 영향에 관한 연구:  미리보기
저자
박범영 이현섭 박기현 정석훈 서헌덕 정해도 김호윤 김형재
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
3.
서명
산화제 첨가에 따른 WO₃ 박막의 CMP 편탄화 특성:  미리보기
저자
이우선 고필주 김남훈 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
4.
서명
혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성 :  미리보기
저자
나은영 서용진이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
5.
서명
구리 CMP 공정변수 최적화를 위한 실험계획법 연구:  미리보기
저자
최민호 김남훈 김상용 장의구
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
6.
서명
산화막 CMP 공정에서 슬러리 온도 변화에 따른 연마 특성:  미리보기
저자
고필주 박성우 기남훈 서용진 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
7.
서명
CMP에서의 스틱-슬립 마찰특성에 관한 연구:  미리보기
저자
이현섭 박범영 서헌덕 박기현 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
8.
서명
H₂O₂산화제가 W/Ti 박막의 전기화학적 분극특성 및 CMP 성능에 미치는 영향:  미리보기
저자
나은영 서용진 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
9.
서명
CMP 패드 강성에 따른 산화막 불균일성(WIWNU)에 관한 연구:  미리보기
저자
박기현 정재우 박범영 서현덕 이현섭 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
10.
서명
Polishing Mechanism of TEOS-CMP with Hing-temperature Slurry by Surface Analysis:  미리보기
저자
김남훈 서용진 고필주 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
Transactions on Electrical and Electronic Materials
출판년
2005
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
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