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서명
혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성 :
저자
나은영 서용진이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
32.
서명
반경험적인 실험설계 기법을 이용한 CMP 공정 변수의 최적화:
저자
이경진 김상용 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2002
자료유형
저널기사
소장처
33.
서명
실리카 슬러리의 희석과 연마제의 첨가가 CMP 특성에 미치는 영향:
저자
박창준 김상용 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2002
자료유형
저널기사
소장처
34.
서명
CMP 공정에서 마치므로 스크래치 감소를 위한 슬러리 필터의 특성
저자
김철복 김상용 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2001
자료유형
저널기사
소장처
35.
서명
CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향:
저자
김구연 김형재 박범영 이현섭 박기현 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2004
자료유형
저널기사
소장처
36.
서명
구리 CMP 공정변수 최적화를 위한 실험계획법 연구:
저자
최민호 김남훈 김상용 장의구
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
37.
서명
산화막 CMP 공정에서 슬러리 온도 변화에 따른 연마 특성:
저자
고필주 박성우 기남훈 서용진 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
38.
서명
CMP에서의 스틱-슬립 마찰특성에 관한 연구:
저자
이현섭 박범영 서헌덕 박기현 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
39.
서명
H₂O₂산화제가 W/Ti 박막의 전기화학적 분극특성 및 CMP 성능에 미치는 영향:
저자
나은영 서용진 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
40.
서명
CMP 패드 강성에 따른 산화막 불균일성(WIWNU)에 관한 연구:
저자
박기현 정재우 박범영 서현덕 이현섭 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
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