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61.
서명
CMP 폐술러리내의 필터링된 연마 입자 재활용에 관한 연구:  미리보기
저자
김기욱 서용진 박성우 정소영 김철복
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회)
출판년
2003
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
62.
서명
스퍼터로 제작된 WO₃박막의 CMP 광역평탄화 특성:  미리보기
저자
이우선 고필주 최권우 정수복 최창주
출판사
조선대학교 에너지.자원 신기술연구소
청구기호
에너지 자원 신기술연구소 논문지(조선대)
출판년
2003
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
63.
서명
스퍼터로 제작된 WO₃ 박막의 CMP 광역평탄화 특성:  미리보기
저자
이우선 최창주 고필주 최권우
출판사
조선대학교 에너지.자원 신기술연구소
청구기호
에너지 자원 신기술연구소 논문지(조선대)
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
64.
서명
산화제(H₂O₂)의 첨가 유뮤에 따른 Ti/TiN막의 CMP 연마 특성:  미리보기
저자
이경진 서용진 박창준 김기욱 박성우 김상용 이우선
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
학술 대회 논문집(한국전기전자재료학회)
출판년
2003
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
65.
서명
STI-CMP 공정 적용을 위한 연마 정지점 고찰  미리보기
저자
김상용 서용진
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
66.
서명
연마시간 관계식을 이용한 STI CMP의 특성에 관한 연구  미리보기
저자
김상용 김남훈
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
1999
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
67.
서명
Metal CMP 세정 공정에서 DHF 적요에 관한 연구:  미리보기
저자
김상용 김남훈 김인표
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
전기 전자 재료 학회 논문지
출판년
2003
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
68.
서명
A study on the corrosion effects by addition of complexing agent in the copper CMP process:  미리보기
저자
김상용 김남훈 김인표 장의구 서용진 정훈상
출판사
한국전기전자재료학회
청구기호
Transactions on Electrical and Electronic Materials
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
69.
서명
한외여과를 이용한 폐 CMP slurry의 분리에서 압력의 영향:  미리보기
저자
홍성호
출판사
대한상하수도학회
청구기호
상하수도 학회지
출판년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
70.
서명
Effects of wynthetic temperature and suspension stability of CeO₂abrasive on CMP characteristics:  미리보기
저자
임건자 김태은 이종호 김주선 이해원 현상훈
출판사
한국세라믹학회
청구기호
한국 세라믹 학회지
출판년
2003
자료유형
NotFound 저널기사
소장처
 
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