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1.
서명
Faraday cage를 이용한 plasma etching 분석 기술:
저자
문상흡
출판사
한국과학재단
청구기호
우수 연구성과 사례집
출판년
2004
자료유형
저널기사
소장처
2.
서명
Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of SiC Single Crystals Using NF~3-Based Gas Mixtures:
저자
출판사
Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호
Journal of Electronic Materials
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
3.
서명
New Plasma Chemistries for Etching III-V Compound Semiconductors: Bl~3 and BBr~3:
저자
Maeda, T.;Cho, H.;Hong, J.;
출판사
Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호
Journal of Electronic Materials
출판년
1999
자료유형
저널기사
소장처
4.
서명
Plasma Chemistries for Dry Etching of NiFe and NiFeCo:
저자
Jung, K. B.;Hong, J.;Cho, H.;
출판사
Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호
Journal of Electronic Materials
출판년
1998
자료유형
저널기사
소장처
5.
서명
Comparison of inductively coupled plasma chemistries for dry etching of group Ⅲ-nitrides
저자
HCho JKKim SJPearton
출판사
International Organization for Ceramic Processing
청구기호
Journal of Ceramic Processing Research
출판년
2001
자료유형
저널기사
소장처
6.
서명
Plasma etching characteristics of Ge-B-P doped SiO₂ film for waveguide fabrication:
저자
신동욱 오재호
출판사
International Organization for Ceramic Processing
청구기호
Journal of Ceramic Processing Research
출판년
2005
자료유형
저널기사
소장처
7.
서명
High selectivity plasma etching of InN over GaN:
저자
Cho, Hyun ;Hong, J. ;Maeda, T. ;
출판사
Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호
Journal of Electronic Materials
출판년
1998
자료유형
저널기사
소장처
8.
서명
Hydrogen etching for semiconductor materials in plasma doping experiments:
저자
Qin, Shu;Bernstein, James D.;Chan, Chung;
출판사
Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호
Journal of Electronic Materials
출판년
1996
자료유형
저널기사
소장처
9.
서명
Inductively Coupled Plasma Etching of HgCdTe:
저자
Smith, E. P. G.;Gleason, J. K.;Pham, L. T.;
출판사
Institute of Electrical and Electronics Engineers
청구기호
Journal of Electronic Materials
출판년
2003
자료유형
저널기사
소장처
10.
서명
Inductively coupled plasma etching of Ⅲ-N layers by using a Cl₂/N₂ Plasma:
저자
김선운 이규한 남승재
출판사
한국물리학회
청구기호
Journal of the Korean Physical Society
출판년
2002
자료유형
저널기사
소장처
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