대구한의대학교 향산도서관

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새로운 ICP장치를 이용한 고온 초전도체의 Dry Etching과 기종의 Wet Etching 기술과의 비교 / 강형곤 임성훈 임연호 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2001 /