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Cl₂가스분위기에서 Ar 이온빔을 이용한 Si₁-χGeχ 박막의 식각특성연구

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자료유형기사
기사명Cl₂가스분위기에서 Ar 이온빔을 이용한 Si₁-χGeχ 박막의 식각특성연구 :
저자명윤창주 유홍우 한윤봉
발행/형태사항: 한국물리학회, 1997
수록잡지명응용 물리 : 1997년 07월 제10권 4호
페이지398-404

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