상세정보
Export to Refworks부가기능
Chemically Assisted Ion Beam Etching에 의한 Ru 및 RuO₂ 박막의 Cl₂흡착에 따른 식각특성
기사 상세정보
소장정보
- 소장정보
| No. | 소장처 | 소장사항 | 청구기호 | 구독 | 최근입수호 | 권호·제본정보 보기 |
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| 1 | 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ | 420 응용물 | 구독중단 | 2000년부터 새물리로 통합 |
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| No. | 소장처 | 소장사항 | 청구기호 | 구독 | 최근입수호 | 권호·제본정보 보기 |
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| 1 | 삼성캠퍼스/연속간행물실(2층)/ | 420 응용물 | 구독중단 | 2000년부터 새물리로 통합 |
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