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Export to Refworks부가기능
0.1um급 dense 패턴 형성을 위한 사입사 조명 조건과 OPC 보조 패턴 크기의 최적 조건에 관한 연구
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| No. | 소장처 | 소장사항 | 청구기호 | 구독 | 최근입수호 | 권호·제본정보 보기 |
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| 1 | 삼성캠퍼스/종합자료실/ | 425.05 | 구독중 | 2011년 04월 제22권 2호 |
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| 1 | 삼성캠퍼스/종합자료실/ | 425.05 | 구독중 | 2011년 04월 제22권 2호 |
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