대구한의대학교 향산도서관

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0.1um급 dense 패턴 형성을 위한 사입사 조명 조건과 OPC 보조 패턴 크기의 최적 조건에 관한 연구

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1 삼성캠퍼스/종합자료실/ 425.05 구독중 2011년 04월 제22권 2호 권호정보

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